Ioonkiirte koonused

SIKAIDA ioonkiirkoonused on ioonkiirte siirdamise ja ülekandesüsteemide põhikomponendid. Need on valmistatud kõrge puhtusastmega täiustatud keraamilistest materjalidest ja töödeldud täppispritsevormimise ja kõrgtemperatuurse paagutamise teel. Neil on äärmiselt madal lisandite sisaldus, kõrge temperatuuritaluvus ja stabiilne mõõtmete täpsus. Neid saab töödelda keeruliste geomeetriliste kujunditega, et need vastaksid äärmiselt kõrgetele tolerantsinõuetele, muutes need sobivaks suure jõudlusega pooljuhtide ioonide implanteerimisprotsesside jaoks.

Professionaalse Hiina tootjana pakub SIKAIDA klientidele kogu maailmas usaldusväärseid, kulutõhusaid ja kohandatavaid ioonkiirekoonuseid pooljuhtide, lameekraani, optika, mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS) ja päikeseenergia valdkonnas. SIKAIDA on usaldusväärne pikaajaline tarnija ja spetsiaalne tootmisettevõte tipptasemel ioonkiirprotsessi komponentide jaoks.

Materjalid ja tootmine

1. Materjalid

Ion Beam Cones kasutab materjale, sealhulgas alumiiniumoksiidi (Al2O3) puhtusega ≥99,9%, räninitriid (Si3N4) puhtusega ≥99,5%, tsirkooniumoksiidi (ZrO2) puhtusega ≥99,8% (.9%) ja f) kasutatud ränidioksiid (.9%). Kõik materjalid vastavad pooljuhtide tööstuse rangetele puhtusstandarditele ja sobivad erinevate rakenduste jõudlusnõuetega.

2. Tootmisprotsess

Tootmisprotsess hõlmab täppispritsevormimist, kõrgtemperatuurset paagutamist, CNC täppistöötlust, peegli tasemel poleerimist ning automaatset puhastamist ja testimist. Iga protsessi täpsust ja kvaliteeti kontrollitakse rangelt, et tagada lõpptoote vastavus tööstusstandarditele ja klientide nõudmistele.

Toote peamised parameetrid

1. Mõõtmete täpsus

Ioonkiirkoonuste tolerantsid on reguleeritud vahemikus ±0,05 mm, pinna karedus Ra≤0,4 μm, sisemise ava koonuse täpsus ±0,02 mm, koaksiaalsus ≤0,03 mm ja perpendikulaarsus ≤0,02 mm. See ülikõrge mõõtmete täpsus tagab tõhusalt ioonkiire ülekande täpsuse.

2. Pinnatöötlus

Pinnatöötlused hõlmavad mehhaanilist poleerimist peegelviimistluseks, UV-kõvastuvaid katteid pinnaomaduste parandamiseks, kriimustuskindlaid katteid kulumiskindluse parandamiseks ning happelist peitsimist ja passiveerimist lisandite eemaldamiseks ja stabiilsuse parandamiseks. Sobivad ravimeetodid saab valida rakendusnõuete alusel.

3. Toimivusnäitajad

Ioonkiirkoonused töötavad temperatuurivahemikus -196 ℃ kuni +800 ℃, tagades stabiilse töö äärmuslike temperatuuride keskkondades. Nende mahutakistus on ≥10¹⁴Ω·cm ja pinnatakistus ≥10¹²Ω, millel on suurepärased isolatsiooniomadused. Samuti on neil suurepärane vastupidavus plasma- ja keemilisele korrosioonile, võimaldades neil kohaneda keerukate protsessikeskkondadega.

Põhilised eelised

1. Ülikõrge puhtusaste: tooraine puhtus ületab 99,9%, minimeerides pooljuhtplaatide saastumise, tagades seadmete stabiilse elektrilise jõudluse ja täites pooljuhtide tootmise ranged puhtusnõuded.

2. Äärmiselt kõrge geomeetriline täpsus: tagab masstootmise ajal ühtlased toote mõõtmed, kusjuures koonuse viga on ±0,05 mm ja ümarusviga ≤ 0,02 mm, mis vastab täpselt ioonkiirte ülekandesüsteemide paigaldus- ja kasutusnõuetele.

3. Peeglitaoline pinnakvaliteet: pinna karedus Ra≤0,4μm, mis vähendab tõhusalt ioonkiire hajumist, parandab ioonkiire ülekande ühtlust ja optimeerib veelgi pooljuhtseadmete implantatsiooni täpsust.

4. Laia temperatuurivahemiku stabiilsus: töötab stabiilselt sügavas krüogeenses kuni kõrge temperatuuriga keskkondades. Materjalil on äärmiselt madal soojuspaisumistegur, mis säilitab suurepärase mõõtmete stabiilsuse isegi temperatuurimuutuste korral, vältides temperatuurikõikumistest tulenevaid mõjusid jõudlusele.

5. Suurepärane isolatsiooni- ja korrosioonikindlus: takistab tõhusalt laengu kogunemist ioonkiire ülekande ajal ning talub tugevaid happeid, tugevaid leeliseid ja mitmesuguseid plasmakorrosiooni, tagades pikaajalise stabiilse töö keerukates protsessikeskkondades.

Kohandatud teenused

Tootemudeleid ja suurusi saab kohandada vastavalt erinevatele protsessinõuetele. Toetatud joonistusvormingute hulka kuuluvad STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF ja füüsilised näidised. Tarneaja osas on näidiste tarneaeg 4-7 nädalat ja partiitoodete tarneaeg 8-12 nädalat. Meie kvaliteedisüsteem vastab ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH ja SEMI standarditele, tagades igakülgselt toote kvaliteedi ja tarneefektiivsuse.

Kasutusalad

Ioonkiirkoonuseid kasutatakse laialdaselt mitmes valdkonnas, sealhulgas ioonimplantaatorid pooljuhtide tootmisel, töötlemisseadmed lameekraanide jaoks, ioonkiirde sadestamise (IBD) ja ioonkiirega söövitamise (IBE) süsteemid optiliste seadmete tootmises, mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS) tootmine, ioonide dopinguseadmed päikesepatareide jaoks ja ioonimplantatsiooniprotsessid toiteallikate, näiteks bipolaarsete ülekandeseadmete jaoks. (IGBT-d) ja toite-MOSFET-id.

Korduma kippuvad küsimused:

K1: Milliseid materjale ioonkiirkoonustes tavaliselt kasutatakse?

A1: Kasutame peamiselt täiustatud keraamilisi materjale, nagu kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid (Al2O3), ränitriid (Si3N4) ja tsirkooniumoksiid (ZrO2). Nendel materjalidel on äärmiselt kõrge puhtusaste, suurepärane vastupidavus kõrgele temperatuurile ja stabiilsed elektrilised omadused.

Q2: Kas UET võib pakkuda kohandatud spetsifikatsioone ja pinnatöötlusi? 

A2: Jah. UET saab kohandada koonuste suurust, koonust, materjali tüüpi ja pinnatöötlust vastavalt teie protsessi nõuetele. Meil on laialdased tootmiskogemused ja suudame vastata klientide spetsiifilistele rakendusnõuetele.

Q3: Kuidas on tagatud ioonkiirkoonuste täpsus ja kvaliteet?

A3: võtame kasutusele ISO9001:2015 kvaliteedijuhtimissüsteemi ja oleme varustatud ülitäpsete testimisseadmetega, sealhulgas koordinaatmõõtmismasina, pinnakareduse testeri ja röntgenfluorestsentsspektromeetriga, et tagada iga tootepartii vastavus rangetele tööstusstandarditele.

Q4: Mis on tarnetsükkel?

A4: proovi tarnetsükkel on 4-7 nädalat ja partii toote tarnetsükkel on 8-12 nädalat. Konkreetne tsükkel sõltub toote keerukusest ja tellimuse kogusest.